Tesisat Dergisi 82. Sayı (Ekim 2002)

NSLATION Yarı iletken üretimi yapan fabrikalarında mümkün olan en saf su istenilir. Bu sudaki bütün kirliliklerin giderilmesi demektir. Bazen suyun saflığının analiz ile saptanabilen en düşük sınırlarda veya altında olması istenir. Örneğin; Kullanıcı Sec;imleri Bu yazı dizisinden edinilen genel izlenim, bir su arıtma sistemi dizaynını etkileyen pek çok önemli faktörün bulunmasıdır. Bununla beraber her yeni proseste; kullanılacak suyun analizi, kullanıcı tercihleri ve teknikolmayan parametreler sistem seçimini veya dizayn esaslarını belirler. Bir dizayn sorunu için birden fazla doğru çözüm bulunabilir ve bazen anlaşılması zor şartlar bir dizayndan başka bir dizayna dönüşümü zorunlu kılabilir. Böyle bir sonuçta sistem dizaynı deneyimli bir su arıtma proses mühendisi tarafından kontrol edilmelidir. O 18,2 megaohm-cm resistivitiy. (Özgül direnç) 0 < 0,5 ppb TOC O < 1 ,000 partikül / L (0,005-0,1 µm hat üzerinde ölçülen) O < 1 ppbçözünmüşoksijen O O,1 Bakteri / L O İyon ve metal miktarı ppt olarak Yarı iletken üretim tesislerindeki su sistemleri ön arıtım, demineralizasyon ve ileri Seka Çaycııma Demiralizasyon Kontrol Odası (2x80 ın3/lı) Editör; Debora/ı Hairston arıtım (polishing) gibi diğer ileri-saflaştırma sistemlerinde bulunan standart ekipmanları içerir. Hatta bunlara ilave olarak suyun dağıtım sistemleri öncesinde ileri arıtım ekipmanları ve son arıtım için POU*11 üniteleri de bulunabilir. Tipik bir ileri-arıtım ekipmanları düzenlemesinde depodan sevkedilen su vakum degazöründen geçtikten sonra organikleri parçalayan 185 nm' lik (UV) ultra viyole cihazına girer. Buradan çıkan su UV'deki işlem sonucu oluşan az miktardaki iyonik maddelerin tutulması için karma iyon değiştirici (mixed-bed) veya elektrodeiyonizer (EDI) cihazına girer, bundan sonra son filtreleme (submikron MF veya UF) ile işlem bitirilir. Bütün bu sistemde kullanılan boru, vana donanımında ileri-saflaştırma sistemlerine özgü yüksek saflıkta malzeme*12 kullanılır. (tipik olarak fluoropolymers) Şayet karma iyon değiştirici kullanılıyorsa reçineler ilk defa kullanılıyor olmalı ve düşük TOC-Tip olup yeni ilave bir kirlilik yükü getirmemelidir. ll*POU (Point of ııse): Kullanım noktasında arıtma 12* Yüksek saflıkta malzeme: (Hıght pıırity material) PVDF, ABS benzeri ÖRNEK :3 ŞEHiR ŞEBEKE SUYUNUN RO GİRiŞ SUYU OLARAK KULLANILMASI KAYNAK -ŞEHiR ŞEBEKE SUYU SiSTEM BESLEME SUYU KALiTESİ ARITILMIŞ SU KALİTESi KATYON(ppm CaCO3) ANYON(ppm CaCO3) DIGER PARAMETRELER Kalsiyum 318 Bikarbonat 200 pH 7,5-8,3 iletkenlik: 0,10 uS/cm Magnezyum 51 Klorür 197 Organikler (ppm-TOC) 1 Sodyum: 0.01 (ppmNa) Sodyum 198 Nitrat 29 Bulanıklık NTU 1 Silisyum: 0,02 (ppmSi02) Potasyum 12 Sulfat . 151 Sıcaklık 16-27 °C TDS 0,2 ppm Fosfat 1 Sebest Klor ppm 0,12 Baryum ppm 0,08 Florür ppm 1 Demir ppm 0,13 Toplam kalyonlar 579 Toplam anyonlar 579 Manganez ppm 0,01 Karbondioksit 2 Alüminyum ppm 0,3 Silisyum 10,5 SOi 5 TEA* 591,5 Tavsiye edilen seçim Asit dazlama sistemi; antiskalant dazlama sistemi, sodyum bisülfit dazlama sistemi; 5 mikronluk RO önfiltresi ; Tek geçişli Ters Osmoz Ünitesi; CO,-Oegazörü; Elektrodeiyonizasyon ünitesi EOI Seçim faktörleri ve dizayn yorumu: 1. (AKM) Bulanıklık için verilen değer dikkate alınınca besleme suyu için ilave bir Multi Medya filtreye gerek bulunmadığı anlaşılmaktadır. Sadece RO girişine bir klasik tip kartuş filtre konulması yeterlidir. 2. Besleme suyundaki yüksek TOS değerini, kabul edilebilir bir değere indirmek üzere (sınırlı bir demineralizasyon için) RO ünitesi seç i ldi. 3. istenilen kalitede bir su elde edebilmek için bir MB•' veya Eoı•' ünitesine gereksinme vardır. EOl'nin seçilmesi halinde sahadaki kimyasal depolamalar ve temini faaliyetleri azalacaktır. 4. Hamsu analizinde belirtilen S0I;5 değeri RO besleme suyu için maksimum bir değerdir. Bu değer tekrar kontrol edilip doğruluğu kanıtlanmalıdır.Yüksek değerler için RO ünitesi ve kartuş filtreleri korumak için ilave bir çok katmanlı filtreye gerek duyulabilir. 5. Bir RO ünitesinde serbest kloru gidermek için sodyum bisülfit kullanılması tercih edilmişse, membranlar için toplam klorür toleransı 1000 ppm-saattir. 6.Besleme suyundaki olası çökelme eğilimlerini azaltmak için RO ünitesi girişine dozlanan asit ile LSI düşürülerek (-) eksi değerine getirilir. Bu durum bazı bikarbonat iyonlarının C02'ye dönüşmesine sebep olur. Suda oluşan bu C02 RC-ünitesi tarafından giderilemez. Sisteme konulacak bir CO,-degazörü tarafından giderilir. Aksi halde son ekipman olan iyon değiştiricinin MB hızla tükenmesine sebep olur. Oegazör sonrası C02 değeri 5 ppm'e düşürülmelidir. 7. RO-ünitesi girisine cökelmeyi önlemek üzere antiskalant madde dozlanmalıdır. 11 ıc11 : ıop,am uegışıınıeoııır anyon ıyonıarı, anyon ueyışııncı uızaynınua KUııanı,aca,..,ır, vv 2 ve �v 2 uegeııennı ihtiva etmektedir. r MB : Mixed Bed - Karma iyon Değiştirici 3• EDI: Efektrodeiyonizer TESİSATDERGİSİ 111':11111 SAYI 82 EKİM 2002

RkJQdWJsaXNoZXIy MTcyMTY=